SiC碳化矽乘載盤
- 具有低導通電阻
- 抗離子
- 耐高溫、高壓
- 熱傳導與熱化學穩定性好
- 易清潔
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適用半導體乾、濕蝕刻製程、Mocvd等製程
SiC碳化矽Edge Ring
- 具有低導通電阻
- 抗離子
- 耐高溫、高壓
- 熱傳導與熱化學穩定性好
- 易清潔
- 適用半導體乾、濕蝕刻製程、Mocvd等製程
SiC碳化矽RTP H-Ring
- 具有低導通電阻
- 抗離子
- 耐高溫、高壓
- 熱傳導與熱化學穩定性好
- 易清潔
- 適用半導體乾、濕蝕刻製程、Mocvd等製程